名称：镀膜机
镀膜机：
UNIVEX 为莱宝真空生产的专门用于实验室研发和小
批量生产的小型镀膜机，它可以满足用户的不同需求，并可
根据用户的具体要求特殊设计。
UNIVEX 有多种形式或附件可供选择：
1. 外型：钟罩式或箱式
2. 大小：内径300mm，450mm，490mm
3. 源的个数：单个或多个
4. 蒸发方式：电加热；电子束蒸发；直流和射频溅射；
离子辅助沉积
5. 基片旋转：普通电机驱动，步进电机驱动；行星旋
转
6. 基片处理：基片加热；基片冷却；基片射频偏压；
基片温度控制
7. 膜系：单层，多层，多种材料同时沉积
8. 膜厚：膜厚测量仪；膜厚控制仪
9. 辉光清洗；挡板
10. 高真空泵：分子泵或低温泵
11. 前级真空泵，有油泵或无油泵
12. 控制方式：手动，半自动，全自动
13. 预真空室
