美国 INFICON 公司 ( 原属莱宝的仪器部门 ) 所生产的膜厚控制仪是目前世界上应用最广 , 使用最多的晶振式测量仪。适用于多源，多坩埚，多材料或多过程系统的膜层沉积速率和膜厚。 IC5 可为源控制或图形记录仪输出提供 6 个可赋值的模拟输出，沉积速率，膜厚或沉积速率的偏离 , 可控制 100 多层膜的共沉积 , 是目前世界上晶振测量原理中精度最高的一种。