| 在 1976 年,莱宝公司推出了市场上的第一台磁悬浮分子泵,这就是著名的的 TURBOVAC 560M 。
莱宝的 MAG 系列磁悬浮分子泵分为单轴定位( TURBOVAC 340M , MAG 400 , MAG 1000 )和五轴定位( MAG1500 , MAG2000 , MAG3200 )两种。它们的主要技术参数和
特点有:
·抽速: 300 -3200 升 / 秒
·极限真空度: 10-8 --10-10mbar
·最大允许前级压强: 0.5mbar
· MAG 系列为全无油的真空泵,可用来产生洁净的超高真空。
·可以任意角度安装。
·低噪音,低震动。
·高运行可靠性。无轴承磨损,无需维护。
· TMS 温控系统可以调节泵温(至 90°C ),防止蒸汽在泵内的冷凝。
·智能化电源,装有自动保护装置,以保证在突然断电时,轴承不会损坏。
·转子叶片一次成型,坚固耐用。因此,最大允许前级压力高达 6mbar
·转子及定子叶片都有 KEPLA-COAT 涂层。因此特别适合于抽除腐蚀性气体。较镀镍的转子重量更轻。
最先进的数字控制技术,运行速度,温度可设置;运行数据记录存储,提供多达 180 条运行信息。磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短,转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间短。在气流长时间( 2 分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量大时,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。

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