新型复合分子泵
  抽速自70升/秒~1600升/秒。
  极限真空取决于前级泵的情况。
  最大允许前级压强:6~14mbar

  主要特点有:
 1. 转子叶片为一次成型,消除了叶片应力,使得前级耐压达到14mbar,并能抵抗短暂的大气冲击。
 2. 高效的风冷系统,使其在大多数工作条件下无需水冷。
 3. 变频器与泵体的一体化设计,避免了连接变频器带来的不便。
 4. 模块化的设计为用户提供了多种选择。
 5 .结构紧凑,可方便的安装到复杂的系统中。
 6. 可以任意角度安装。
 7. 螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。
 8. 轴承为油脂润滑,无维护运行时间长。
 9. 无油真空泵,可用来产生洁净的高真空和超高真空。
 10. 可在轴承需要维护时提前预警。
 11. 通过通讯接口可以与掌上电脑,PC或PLC联络,以读取分子泵工作状态参数,以及储存单元的运行记录;并可根据需要对某些参数进行修改,如频率等。
 12. 高前级耐压降低了对前级泵的要求,使得系统总体造价降低。


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  电源
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