UNIVEX 为莱宝真空生产的专门用于实验室研发和小批量生产的小型镀膜机,它可以满足 用户的不同需求,并可根据用户的具体要求特殊设计。
UNIVEX 有多种形式或附件可供选择:
1.外型:钟罩式或箱式。
2.大小:内径 300mm,450mm,490mm.
3. 源的个数:单个或多个。
4.蒸发方式:电加热;电子束蒸发;直流和射频溅射;离子辅助沉积;
5. 基片旋转:普通电机驱动,步进电机驱动;行星旋转。
6. 基片处理:基片加热;基片冷却;基片射频偏压;基片温度控制。
7. 膜系:单层,多层,多种材料同时沉积。
8. 膜厚 : 膜厚测量仪;膜厚控制仪。
9. 辉光清洗;挡板。
10. 高真空泵:分子泵或低温泵。
11.前级真空泵,有油泵或无油泵。
12. 控制方式:手动,半自动,全自动。
13.预真空室

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