美国 INFICON 公司提供的 Transpector2,100 ， 200 ， 300amu 系统带法拉第杯或电子倍增器的组合，改进并提高氢气的监测，卓越的峰值和位置的稳定性，与原始的 Transpector 相比讯噪比提高 10 倍， 9 个数量级的电子学动态量程，分压测量从 1X10^-4~2X10^-14Torr. ，广泛的应用于 PVD 机台或工艺状态，刻蚀， CVD, 注入。

　　更为强大 Transpector XPR3 最小测量分压可达到 1X10^-2Torr, 广泛适用于溅射，电子束蒸发等镀膜工艺的过程控制。

　　线质谱 IPC400 的研制，解决客户在高压强下分析气体成分的可能性，为客户提供在线实时检测工艺状态的可能。